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好工艺才有好性能,真空设备工艺和环境的要求

2021/3/8 14:49:43来源:http://www.china-protech.com/a/xingyedongtai/20200113/512.html点击数:467

在真空工艺应用中,真空设备需要满足真空工艺各类参数需求。为了更好的实现这一需求,不仅对真空设备性能有要求,同时也需要环境能够给设备提供良好的运作条件,保证设备稳定运行,好环境才有好性能。

我们把没有特殊要求的真空工艺过程称之为常规真空工艺,这类工艺对环境的要求具有一定的普遍性,主要包括以下几点:

1、保证处于真空状态或真空中的真空设备零件机器表面,没有积存的污染源,包括尘埃、铁屑、锈蚀等。

2、真空设备的真空室表面要光滑,气孔,无死空间,内焊缝无影响真空的缺陷。

3、高真空设备中,真空室内的运动部件不得用机油作润滑剂,而要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作润滑剂。法兰、大门、观察窗的密封部位可涂以高真空油脂。

4、无油非常高真空系统要避免油蒸气影响工作介质的纯度、表面特性或工作性能,为具体的工艺过程提供清洁的非常高真空环境。

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