LED外延片退火炉【图】多少钱_生产商厂家_规格_联系方式-青岛育豪微电子设备有限公司

产品信息

所在地:

山东青岛
产品价格:

电议
最小起订:

1
发布时间:

2016-09-24
有效期至:

2016-10-24

产品详细

◆ 全中文操作界面，可编辑参数，操作简便

◆ 可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步

◆ 工艺曲线的自动运行控制功能

◆ 自动运行中可暂停继续运行功能

◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能

◆ 智能升降温斜率控制功能

◆ PID参数自整定功能

◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能

◆ 系统故障的检验与启动紧急信号功能

◆ 系统误差修正（单点或多点动态修正功能）

◆ 智能悬臂推拉舟控制功能

◆ 工艺气体的程序控制功能（电磁阀质量流量控制器）

◆ 停电后断点继续运行功能等等

该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。
◆ 工作温度：2001000℃（较高温度小于800℃）
◆控制精度：&le±1.0℃
◆恒温区长度：定制
◆开机重复性：&le±1.0℃
◆冷态真空度：101Pa
◆石英真空室内径：定制
◆控制仪表：日本岛电公司原装进口控温仪
◆环境温度：10~45℃
◆相对湿度：&le85
◆供电电源：三相五线380V±10 50Hz
◆可用气氛：H2，N2

★可配工艺管数量：1~4管台；

★工作温度范围：200～1000℃；

★恒温区长度及精度：300～900mm 600~1000℃±0.5℃；

★单点温度稳定性：600～1000℃±0.5℃24h；

★非常大可控升温速度：15℃min

★非常大降温速度：15℃min

联系方式

青岛育豪微电子设备有限公司
联系人:

陈庆建 （联系时请告诉我是"铝道网看到的信息，会有优惠哦！谢谢！）
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