青岛育豪微电子设备有限公司

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三工位真空炉

产品信息

产品详细

 

三工位真空烧结炉主要应用于电力半导体器件烧结焊接等工艺
 
设备参数:
★口径:&Phi350mm         
★工作方式:共用一套加热体,A、B、C管交替工作
★工作温度:3001000℃     
★恒温区1000mm±3℃
★冷态真空度:5&Chi104Pa        
★真空系统:机械泵+K300扩散泵
★阀门:&Phi300气动挡板阀为主阀和进口电磁阀加热         
★功率:47KW
★真空计:复合数字表       
★充气种类:N2、氩气、H2
★控制系统全自动、手动

 

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