主营:激光干涉仪,轮廓测量仪,光栅测长机,数显高度计,指示表检定仪,压力校验仪,数字精密压力表,手动压力泵
所在地:
广东 深圳
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1
发布时间:
2016-06-14
有效期至:
2016-07-14
一.SJ6000激光干涉仪功能特点
二.SJ6000激光干涉仪原理
一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上,形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动,形成变化长度测量光束。
从激光头射出的激光光束(1)具有单一频率,标称波长为0.633µm,长期波长稳定性(真空中)优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时,被分成两束光—反射光束(2)和透射光束(3)。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中,然后反射回分光镜中,在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。
如果两光程差不变化,探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。如果两光程差发生变化,每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化(条纹)被数出来,用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。
应当注意到,激光波长将取决于光束经过的空气的折射率。由于空气折射率会随着气温、压力和相对湿度的变化而变化,用于计算测量值的波长值可能需要对这些环境参数的变化进行补偿。在实践中,对于技术指标中的测量精度,只有线性位移(定位精度)测量需要进行此类补偿,在这种情况下两束光的光程差变化可能非常大。
三.SJ6000激光干涉仪内置标准
数据库内置的常用标准 |
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标准号 |
标准名称 |
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ISO230-2 |
老版全部标准 |
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ISO230-1997 |
新版全部标准 |
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ANSI B5.54 |
美国国家标准 |
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ASME B89.1.12M |
美国机械工程师协会标准 |
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NMTBA |
美国机床协会标准 |
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BS 3800 |
英国机床标准 |
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BS 4656 |
英国三测机标准 |
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JIS B6330 |
日本国家标准 |
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GB 17421-2000 |
中国国家标准 |
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VDI 3441 |
德国机床标准 |
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