一.SJ6000激光干涉仪概述

SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。

二.SJ6000激光干涉仪显著特点

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检验

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控准确加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

三.SJ6000激光干涉仪用途

激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差 修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。

激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。

激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。

激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等准确测量 元件的检验和刻划功能，可按预定的间距自动完成检验和刻划定位。

四.SJ6000激光干涉仪技术参数

      系统性能

?    测量方式：单频

?    稳频精度：0.05ppm

?    动态采集频率：50 kHz

?    预热时间：5-10分钟

?    工作温度范围：0~38℃

?    环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%

?    存储温度范围：-20℃~70℃

      环境补偿示值误差

?    空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

?    材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

?    空气湿度传感器：±6% (0-95%)

?    大气压力传感器：±0.1kPa

      线性测量

?    测量距离：0-40m

?    测量精度：0.5ppm (0-38℃)

?    测量分辨率：1nm

?    测量非常大速度：3m/sec