青岛曼什微电子设备制造有限公司

主营:扩散/氧化炉+太阳能设备+LPCVD+LED合金炉+真空/氮气炉+链式/隧道炉+压力烧结炉+真空热处理炉

控制系统

产品信息

产品详细

控制系统类产品:温控系统、气源柜、控制柜、温控器、温控仪
  上述系统可应用于进口设备改造,翻新等,采用中文视窗操作系统对炉温、整个工艺流程进行自动控制,并能记录管理历史数据。可实时修改工艺温度曲线,实时温度曲线/数据记录,可报表、存储、打印。硬件故障自诊断,双重安全保护。预留与上位机通讯接口,可组成局域信息系统,系统公开,方便扩展。系统性能及拓展:恒温区温度自动整定、超温启动紧急信号、定时启动紧急信号、上/下限偏差启动紧急信号、断偶启动紧急信号、程序运行启动紧急信号、程序结束启动紧急信号、程序掉电保护,以及链式炉的断水启动紧急信号、断n2启动紧急信号、断h2启动紧急信号、点火断启动紧急信号、停带启动紧急信号、水温高启动紧急信号、出料启动紧急信号等等。启动紧急信号装置改用led旋转警示装置,声音大且启动紧急信号位置明朗。根据客户要求,选用相应规格的质量流量控制器,即可实现气体流量的自动控制。

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