青岛福润德微电子设备有限公司

主营:扩散炉,氧化扩散炉,链式烧结炉,管式真空炉,真空烧结炉,氢气还原炉,led合金炉,soft

供应程控扩散炉

产品信息

产品详细

 

程控扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业,对所加工的硅
片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、
控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
程控扩散炉技术指标:
u可处理硅片尺寸:212英寸
u外型形式:卧式14管结构
u工作温度:2001300
u恒温区长度及精度:200mm1100mm≤±0.5
u单点温度稳定性、重复性:≤±1℃/24h
u温度斜变:可控升温速率15℃/min
u可控降温速率:5℃/min
u送片装置:手动推拉
u气路系统:15路工艺气体/管
u气体控制:手动浮子流量计
u控制方式:程控

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