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电子级硼酸三甲酯TMB

产品信息

产品详细

电子级硼酸三甲酯TMB

一、分子式: B(OCH3)3

二、分子量:103.92

三、理化性质

    无色液体,无明显气味,性质稳定。熔点-29,密度0.915g/ml,沸点6768。易燃,

与能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸,能溶剂混溶。

四、用途

    主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积(CVD)生成硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半导体、

分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。

CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料

Dielectrics PMD/IMD

TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB

Low K Dielectrics

4MS ,OMCATS

High K Dielectrics

TAETO (Ta2O5 Precursor )

TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor)

TMA (Al2O3 Precursor)

Metal Gate and Interconnect Metal

TDMAT (TiN Precursor )

TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )

Low-Temp Nitride/Oxide

HCDS

Diffusion

POCl3

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