主营：箱式炉,真空炉,马弗炉,管式炉,高温炉,气氛炉
所在地:
河南 郑州
产品价格:
电议
最小起订:
1
发布时间:
2021-08-16
有效期至:
2022-02-16
产品概述：
//www.zzprotech.com/
高真空PECVD系统主要特点：
1.通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2.PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3.可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4.PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5.广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。