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HVA 真空阀门 11000 用在 OLED 镀膜机

2023/5/12 10:18:21来源：网络点击数：213次

国内某 OLED 镀膜机厂家配置伯东美国 HVA 真空阀门 11000 系列，尺寸以 4”, 6”, 8”阀门口径为主的标准不锈钢气动高真空闸阀,
 

HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格: 

 阀门材质:

 - 阀门主体

 304 不锈钢

 - 焊接波纹管轴封

 AM - 350

 阀门密封方式

 - 高真空

 氟橡胶

 - 非常高真空

 铜垫圈 / 氟橡胶

 真空:

 - 压力范围

 高真空 1x10-9 mbar, 非常高真空 1x10-10 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差压关闭

 1 bar ( 任意位置 )

 - 开启前较大压力

 ≤ 30 mbar

 烘烤温度（不含电磁阀）:

 - 弹性体密封阀盖

 150°C

 - 金属密封阀盖

-开启温度：200°C

-关闭值：150°C

 - 驱动方式

 手动 60 °c, 气动 60 °c

机制

手动：

手摇曲柄

电磁阀供电电压

 120 VAC 50 /60 Hz

电磁阀可选电压

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 电磁阀位置指示器,较大

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

气动送风：

80 psig

 使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)

 公称通径: DN 16 - 800 mm

 

下图是某 OLED 镀膜机厂家配置上海伯东美国 HVA 高真空阀门

<span style=background-color:red>超高</span>真空闸阀

 

OLED 镀膜机主要面向有机半导体照明客户, 需要镀膜机性能更稳定, 器件效率更高, 性价比高,

对于生产 OLED 镀膜机的客户, 为了节省抽空时间和防止基片的污染, 会选择在 LOADLOCK 与主腔间进行快速传样, 由于两腔室工作的真空度要求不同, 会在腔室之间增加高真空阀门来隔离系统.

 

伯东美国 HVA 真空阀门已广泛应用于 OLED 镀膜机
 

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               宝岛伯东 : 王小姐
T: 86-21-5046-1322                   T: 886-3-567-9508 ext 161
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