线性霍尔离子源 eH Linear【图】_价格_供应商厂家_型号_联系方式-伯东企业（上海）有限公司

产品信息

所在地:

上海上海
产品价格:

电议
最小起订:

1
发布时间:

2023-12-13
有效期至:

2024-06-13

产品详细

因产品配置不同，价格货期需要电议，图片仅供参考，一切以实际成交合同为准。

KRI 线性霍尔离子源 eH Linear
上海伯东代理国外进口进口 KRI 线性离子源使用 eH 400 做为模组, 能应用于宽范围的衬底, 离子源长度高达 1 米, 通过严格调整模组间的距离可以实现较佳的均匀性和离子流. 由于模组是平行放置, 大大简化了气体, 功率和电子三者的分布. KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化, 一个低成本, 高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.

霍尔离子源 eH 400 尺寸
尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”
放电电压 / 电流: 50-300eV / 高等
操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 农业生产体系前体

KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数

型号	eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5
供电	DC magnetic confinement
- 电压	40-200V VDC
- 阳极结构	模块化
电源控制	eHL-30010A
配置	-
- 阴极中和器	Filamentless
- 离子束发散角度	> 45° (hwhm)
- 阳极	标准或 Grooved
- 底座	移动或快接法兰
- 高度	10 cm
宽度	10 cm
- 长度	~ 100cm
-工艺气体	Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others

Model	eHL 200-3	eHL 200-5
Height (nominal)	2.9” (7.4cm)	2.9” (7.4cm)
Width (nominal)	3.3” (8.4cm)	3.3” (8.4cm)
Length (nominal)	Determined by number of modules & application	Determined by number of modules & application
Cathode/Neutralizer	Yes	Yes
Anode module	Yes	Yes
Filamentless	Yes	Yes
Orientation	Vertical / Horizontal	Vertical / Horizontal
Process gases	Inert, reactive, & organic	Inert, reactive, & organic
Power controller	eH Plasma Power Pack	eH Plasma Power Pack

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗小姐                                   宝岛伯东: 王小姐
T: 86-21-5046-3511 ext 108 T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1322 F: 886-3-567-0049
M: 86 152-0195-1076 ( 微信同号 )      M: 886-939-653-958
qq: 2821409400
www.hakuto-china.cn                       www.hakuto-vacuum.com.tw

伯东企业（上海）有限公司

线性霍尔离子源 eH Linear

产品信息

产品详细

联系方式

伯东企业（上海）有限公司

相关产品