霍尔离子源 eH 3000【图】多少钱_生产商厂家_规格_联系方式-伯东企业（上海）有限公司

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1
发布时间:

2023-12-13
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2024-06-13

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KRI 霍尔离子源 eH 3000
上海伯东代理国外进口进口 KRI 霍尔离子源 eH 3000 较适合大型真空系统, 与友厂大功率离子源对比, eH 3000 是目前市场上较**, 提供较高离子束流的离子源.
尺寸: 直径= 9.7“ 高= 6”
放电电压 / 电流: 50-300V / 20A
操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 农业生产体系前体

KRI 霍尔离子源 eH 3000 特性
• 水冷 - 加速冷却
• 可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时,较大限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极
• 宽波束高放电电流 - 高电流密度; 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率
• 多用途 - 适用于 Load lock / 非常高真空系统; 安装方便
• **的等离子转换和稳定的功率控制

KRI 霍尔离子源 eH 3000 技术参数

型号	eH3000 / eH3000L / eH3000M / eH3000LE
供电	DC magnetic confinement
- 电压	50-250V VDC
- 离子源直径	~ 7 cm
- 阳极结构	模块化
电源控制	eHx-25020A
配置	-
- 阴极中和器	Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode
- 离子束发散角度	> 45° (hwhm)
- 阳极	标准或 Grooved
- 水冷	前板水冷
- 底座	移动或快接法兰
- 高度	4.0
- 直径	5.7
- 加工材料	金属电介质半导体
- 工艺气体	Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors
- 安装距离	16-45”
- 自动控制	控制4种气体

可选: 可调角度的支架;

KRI 霍尔离子源 eH 3000 应用领域
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜 ( 光学镀膜 ) IBAD
表面改性, 激活 SM
直接沉积 DD

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗小姐                                   宝岛伯东: 王小姐
T: 86-21-5046-3511 ext 108 T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1322 F: 886-3-567-0049
M: 86 152-0195-1076 ( 微信同号 )      M: 886-939-653-958
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