苏州大华炉业有限公司

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模压非球面光学玻璃镜片碳镀膜机

产品信息

产品详细

高温化学气相沉积碳镀膜机特点:

 

采用隔板设计批量处理模压光学镜片的碳镀膜工艺,每炉可放数千个镜片

 

智能化PLC程序升温程序,真空程序,CVD进气程序,操作简单方便

 

优质干式真空泵,杜绝油液污染,可选择国产干式泵和进口干式泵

 

智能化CVD进气控制系统,适应于氮气、乙炔/甲烷、氩气、空气的通入和混合

 

先进的密封系统,泄漏率低,长期使用稳定性高;

 

高温化学气相沉积碳镀膜机详细资料

 

主要用途

 

适用于模压非球面光学玻璃镜片碳镀膜工艺

 

适应于半导体行业晶圆表面薄膜生长

 

可用于陶瓷及单晶体表面沉积碳纳米管工艺;

 

产品技术参数

 

产品型号: DH-30-700(大华

 

最高温度 700℃;

 

使用气氛: 氮气、氩气、空气、二氧化碳、乙炔、甲烷、合气体

 

长期使用:400-700℃;

 

动 度: ±1℃;

 

显示精度: 0.1℃;

 

匀 度: 容积30L

 

进气流量:三路MFC质量流量计控制,一路浮子流量计控制;

 

升降系统 两套伺服升降系统平台

 

控制系统:智能程序化PLC控制系统;

 

真空泵真空度 极限真空1Pa

 

腔内真空度≤10Pa

 

降温要求:外置冷却风机,降温阶段强制降温;

 

整机功率: 18KW;

 

: 380V, 50Hz;

 

水冷装置:优质水冷机,PLC联机控制

 

保护装置: 过载、过流、过压保护,接地,热电偶异常报警,第二回路超温报警保护装置;冷却水温保

 

力过载保护;

 

 

技术服务: 提供设备使用过程中的技术咨询和支持,接到客户故障通知3个工作时内立即响应。

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