主营：管式炉,箱式炉,CVD系统,PECVD系统,升华仪
所在地:
安徽 合肥
产品价格:
电议
最小起订:
1
发布时间:
2023-09-12
有效期至:
2023-10-12
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项目
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主要技术指标
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数据
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规格型号
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BTF-1200C-RTP-180
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温度控制
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温度点
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1200℃
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额定温度
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1100℃
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稳定状态温度范围
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100～1050℃
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温度测量
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?0.2℃
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温度控制重复性
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?1℃
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温度控制
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?1℃
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温场均匀性
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?2℃
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温度状态工艺时间
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2～100（100～1050℃）
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升温速率
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30℃/S（可根据客户需求定制）
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降温速率
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1～300，可以采用打开炉体降温或移除炉管降温同时启动流量计阀控控制气体冷却
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温度控制模式
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智能模糊全闭环控制
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触摸屏尺寸
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7"LCD 工控电脑
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物理指标
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功率（KW）
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24
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额定电压
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220V/AC380～400V 50-60HZ 自动匹配
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传感器类型
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K型
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反应腔室内径尺寸
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Φ180?580
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式样有效空间
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6
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抽气端口尺寸
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KF25
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供气口尺寸
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Φ6mm双卡套
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冷却方式
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自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2）
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外形净尺寸
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长920?深500?高560mm
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重量
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约80Kg
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