以共聚焦技术为原理的共聚焦显微镜，是用于对各种器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。

中图仪器VT6000共聚焦显微镜光学测量以共聚焦技术为原理、结合Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，是一款用于对各种器件及材料表面进行微纳米级测量的光学检测仪器。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

性能特点

1）结构简单：仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成，控制单元集成在设备主机之内，亦可采用笔记本电脑驱动，实现了“拎着走"的便携式设计；

2）真彩图像：配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像，对细节的展现纤毫毕现；

3）操作便捷：采用全电动化设计，并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换，图像视窗和分析视窗同界面的设计风格，实现了所见即所得的快速检测效果；

4）采用自研的电动鼻轮塔台，并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化，确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能应对。

共聚焦显微镜能够清晰地展示微小物体的图像形态细节，显示出精细的细节图像。它具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。借助共聚焦显微镜，能有效提高工作效率，实现更准确的操作。

产品应用

近年来，随着科技的不断发展，芯片制造业对产品的质量要求越来越高，因此要求有的测量仪器来保证产品质量，这样才能让制造业企业具有更强的竞争力。中图的测量仪器通过自主的软件算法，结合设备的生产能力，把控着产品品质。

VT6000共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理，结合Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测，对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。