苏州微行炉业有限公司

主营:管式炉,箱式炉,真空炉,气氛炉,高温炉,升降炉

供应气相沉积管式炉,真空炉管式炉

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创新科技发展,专业的研发团队,十多年的研发经验,各大高等院校教授的指导,得到广大用户高等院校,***厂,科研单位,大型企业的一直认可。十多年来,不为公司利润,只为科学发展的理念,现研发出多种功能多种型号供您挑选。或按照你产品烧结工艺帮您挑选设计出您想要,适合您的各种高温炉,为您产品升级,为您产品保驾护航。让您产品永远处于全部优异地位。 产品简介:此款设备配有Plasma实现等离子增强,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。 主要功能和特点:   1、利用辉光放电产生等离子体电子激活气相; 2、提高了气相反应的沉积速率、成膜质量; 3、可通过调整射频电源频率来控制沉积速率; 4、能广泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。     滑轨管式炉技术参数         石英管尺寸 L1400mm  Φ(60、80、100) 加热元件 掺钼铁铬铝合金电阻丝 测温元件 K型热电偶 加热区长度 400mm   恒温区长度 200mm 工作温度 ≤1100℃ 控温模式 模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶启动紧急信号功能 控温精度 ±1℃ 升温速率 ≤20℃/min 电功率 AC220V/50HZ/3KW 质量供气系统技术参数           外形尺寸 600x600x600mm 标准量程 50sccm(CH4)、200sccm(H2)、500sccm(Ar、N2); 压力表测量范围 -0.1Mpa~0.15Mpa 较限压力 3MPa 针阀 316不锈钢 截止阀 Φ6mm 316不锈钢针阀 电功率 AC220V/50HZ/20W 响应时间 气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec 准确度 ±1.5% 线性 ±0.5~1.5% 重复精度 ±0.2% 接口 Φ6,1/4 真空系统技术参数           外型尺寸 600×600×600mm 工作电电压 220V±10%  50~60HZ 功率 400W 抽气速率 4L\s 较限真空 4X10-2Pa 实验真空度 1.0X10-1Pa 容油量 1.1L 进气口口径 KF25 排气口口径 KF25 转速 1450rpm 射频电源   信号频率 13.56 MHz±0.005% 功率输出范围 3W-300W   5W-500W可选 非常大反射功率 200W 射频输出接口 50 Ω, N-type, female 功率稳定度 ±0.1% 谐波分量 ≤-50dbc 供电电压 单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ 整机效率 >=70% 功率因素 >=90% 冷却方式 强制风冷  

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