青岛育豪微电子设备有限公司

主营:扩散炉系列,真空炉系列,链式隧道炉系列,氢气炉系列,砷化镓单晶炉系列,LED专用设备,太阳能光伏扩散炉,磁性材料专用设备

单工位真空炉

产品信息

产品详细

简单描述:
真空烧结炉广泛应用于半导体、冶金及其它行业的热处理、真空工艺处理
 
详细介绍:
★工作温度:400-1200oC            
★单点温度控制精度:≤±1oC/24h
★等温区长度:200-400mm/±1mm           
★升温功率:3-6KVA
★升温时间:(至1200℃)<750min          
★保温功率:<3KVA
★重新定值重复性:1mm           
★重新开机重复性:≤±1oC
★冷态真空度:5×10-3Pa          
★真空式内径:Φ150-Φ200mm
★外型尺寸:2400×600×600        
★总重量:约360kg
★设备工作条件:环境温度:10-45℃    相对湿度:≤85%     电网电压:380KVA±10%
★真空室内配有舟托架(不锈钢)   
★电动炉体移动速度0-400mmm/min(可调)
★可根据用户要求配数字真空计和电动放气阀

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