主营：石墨制品,石墨转子、叶片,石墨轴承,保温毡,碳碳板,石墨舟,VC散热石墨治具,玻封烧结石墨制品
所在地:
广东 深圳
产品价格:
电议
最小起订:
10
发布时间:
2020-05-19
有效期至:
2020-06-19
在半导体工业中，高纯石墨主要是作为加热系统、保温罩、电较等存在，采用高纯石墨做这些部件也是充分利用了高纯石墨耐高温这一特点。高纯石墨的耐腐蚀、舒缓反应、导电导热的优点应用到了半导体工业中，使工件使用寿命更长、更加减磨省电。我司采用德国半导体等级石墨材料，准确制作离子注入用石墨耗材，提供标准件及客制化规格。
高纯度石墨根据均匀细颗粒的特性可作为低原子序数材料，对离子、等离子具有较强的抗轰击能力，很强的抗腐蚀性，纯度高没有金属离子不会对半导体产生污染，金属部件暴露在离子注入设备中会造成高的损耗，故这时应用相应的石墨件来作屏蔽罩。用于等离子cvd用部件 等离子vcd用感受器、电较室、喷嘴、内衬、溅射用电较、movcd感受器等。