日立FT160、FT160s、FT160L射线荧光镀层厚度测量仪

日立主营EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1400VX、EA6000VX、EA8000VX、FT110A、FT160、FT160s、X-Strata92，其中FT160系列产品,搭载了性能X射线管，实现了高精度的测定。FT110A较微小准直管和可变焦距光学系统的组合，实现了对较微小部分的测定。对有段差的样品也适用。

1. 高速测量：通过X射线检测机的改良，对于较具代表性的Au、Pd、Ni、Cu（金、钯、镍、铜）多镀层测量，相比以前机型，效率提高了2倍以上。

2. 对应超小型的芯片零部件的厚度测量（FT160s：FT160s通过新时开发的聚光导管，可以测量超小型芯片零部件（电容、电阻等）的电较部的镀层厚度测量。

3. 兼顾安全性和简便性：采用防止X射线泄露的密集型框架和大开口且可以方便开启和关闭的样品门，兼顾安全性和简便性。「FT160s」可以对应600×600mm的大型线路板。

X射线荧光镀层厚度仪FT160、FT160s、X-Strata92是采用聚光X射线的聚光导管，可对微小部的镀层厚度进行高速测量的高性能仪器。通过X射线检测仪器的改良，在线路板和连接器等使用的Au、Pd、Ni、Cu（金、钯、镍、铜）多镀层检测中，其测量速度与本公司以往机型（FT160，以下相同）相比，提高了2倍以上。在「FT160s」里通过新开发的聚光导管也可以测量超小型芯片零部件的端子镀层厚度。而且跟以往机型相同，为操作员的安全和安心考虑，采用X射线泄露的可能性较小的密集型框架。新设计的样品室门采用大开口，同时保证了开启和关闭的便捷性。并且通过大型观察窗口，可以方便地取放和定位样品。另外，操作软件通过图标和便捷画面在提高了操作性的同时，可通过数据自动保存功能减轻操作员的业务。通过这些改进，「FT160s系列」实现了高精度迅速的镀层厚度测量，为测量工作的效率化和成本削减做出了贡献。