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电子级六甲基二硅氮烷HMDS

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电子级六甲基二硅氮烷HMDS

别名:六甲基二硅氮烷;六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亚胺六甲基二硅氮烷

无色透明液体。易水解,放出NH3,生成六甲基二硅醚。在催化剂存在下,与醇或酚反应,生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。与无水氯化氢反应,放出NH3NH4Cl,生成三甲基氯硅烷。可由三甲基氯硅烷与NH3反应来制取。

中文名:六甲基二硅氮烷

英文名:Hexamethyldisilazane

分子式:C6H19NSi2          

分子量:161.39

CAS号:999-97-3

EINECS号:213-668-5

用途:

    主要用于晶圆制造过程中光致刻蚀剂的粘结助剂。

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