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电子级磷酸三甲酯TMPO

产品信息

产品详细

电子级磷酸三甲酯TMPO

一、分子式:PO(OCH3)3

二、分子量:140.07

三、理化性质

    无色液体,有水果味,熔点-46,沸点197,密度1.215g/ml。易燃,易溶于水,难溶于乙醇。

四、用途

    主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。

供应半导体化学气相沉积材料,专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料,TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB PrecursorTDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K MaterialTEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。

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